Dispositivo de pulverização catódica

O dispositivo de pulverização catódica NorthGlass é produzido com um cátodo rotativo / planar, blocos de extremidade e uma barra magnética. Nós também fornecemos projetos personalizados e atualizações para revestimentos existentes que podem ser equipados com os componentes mencionados anteriormente.

Nós fabricamos cátodos rotativos únicos, cátodos rotativos duplos, cátodos planares simples e cátodos planares duplos. Cada componente de cátodo é composto de uma base de cátodo, tampa, unidade de distribuição de gás de processo, água e conexão de eletricidade, dispositivo de medição de vácuo, um sistema de controle altamente intuitivo, etc.

Nós fornecemos três séries de blocos de extremidade que incluem o EB-CAC, EB-CB e EB-CS para atender todas as demandas variando de nossos clientes. Todos os blocos de extremidade podem ser mantidos pelo seu pessoal operacional com um programa de treinamento rápido e alguma prática.

Consulta

1. Série EB-CAC
Cada par de blocos de extremidade é constituído por uma extremidade matriz e uma extremidade de ligação água/eletricidade. A extremidade de condução é projetada para a rotação de alvo e o outro lado é conectar água e linhas elétricas para a unidade. Esta série é apropriada para nealy todos os cátodos em revestimentos simétricos.

Consulta

2.Série EB-CB
Esta série dos blocos de extremidade é constituída por uma extremidade funcional e uma extremidade de suporte em cada par. A extremidade final é para rotação de alvo e conexão com água e linhas elétricas. O outro lado é a extremidade de suporte. Estes são adequados para revestimentos assimétricos.

Consulta

3. Série EB-CS
Esta série é composta por uma extremidade funcional e uma extremidade de suporte. A extremidade funcional é para rotação de alvo e conexão de água/eletricidade. A outra extremidade é um suporte final. Estes são adequados para revestimentos assimétricos.
A distância alvo-substrato pode ser facilmente ajustado devido ao método de instalação para baixo.

• O tubo de suporte de alumínio extrudido separa o íman e seu jugo da água de arrefecimento para proteger o campo magnético.
• A uniformidade do campo magnético é controlado com precisão usando uma estrutura de rosca.
• A água de resfriamento é ejetada do tubo alvo de alta temperatura, reduzindo imediatamente a temperatura.
• Fácil instalar e manter.